众所周知，半导体芯片制造流程非常长，需要用到数十种半导体设备，经过数百道工序才能完成。其中，前道制造环节所涉及的光刻机属于是高价值的核心设备，也是被众多网友关注最多的设备。然而，对于晶圆厂的制造产线来说，光刻机之类的关键设备发生故障可能并不